芯片在電子學中是一種将電路（主要包括半導體設備，也包括被動組件等）小型化的方式，并時常制造在半導體晶圓表面上。半導體産業中，集成電路（IC）占比超過80%，所以集成電路基本上等同于半導體産業。所以經常說到的芯片，集成電路，IC，半導體産業都是同種意思，都是是指将一定數量的元器件及其連線，通過半導體工藝集成在一起的具有特定功能的電路，可細分為邏輯電路、存儲器、微處理器、模拟電路。

從晶體管到集成電路再到高度集成。晶體管的出現開啟了半導體工業的篇章，接着将分立器件集成化、縮小結構尺寸、提升數量、降低功耗，成為技術發展的迫切需求，集成電路應運而生。所謂集成電路，是指在單個半導體晶片上，将晶體管、電阻、電容及連接線等有機結合的電路結構，其本質上是晶體管制造工藝的延續。

随着集成電路發展成今天的超大規模集成電路，其器件結構的尺寸日漸縮小，光學顯微鏡因受分辨率的限制，已經不能滿足其拍攝需求。器件的生産過程中包括了切割、研磨、抛光以及各種化學試劑處理等一系列工藝，會使得器件的表面結構發生一些變化，所以幾乎每一個步驟都需要觀察器件表面的形貌結構分布情況。聚束科技高通量（場發射）掃描電鏡具有大區域掃描、高分辨率等優勢，不僅彌補了光學顯微鏡的不足，而且是一種十分直觀的高分辨率檢測手段，因此在芯片觀察領域中的應用顯得日益重要。

下面來看NavigatorSEM-100下的芯片截面微觀結構。

2.設置拍攝條件：

size ：4096*4096

pixel size ：3nm

圖像 放大倍率（Mag）30000X

其他掃描電鏡

圖像 放大倍率（Mag）10000X

在加速電壓都是5KV，且NavigatorSEM-100放大倍數更高的條件下，可以看到NavigatorSEM-100成像信噪比、襯度更佳、 噪點更少。