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半導體工業

掃描電子顯微鏡應用于觀測半導體器件表面的微觀形态,對IC器件的正面結構進行實時檢測,分析IC工藝及器件的剖面複合結構,NavigatorSEM-100的直接電子探測能力和智能化分析軟件,可提供該應用領域滿意的系統解決方案。

相關機型

高通量(場發射)掃描電子顯微鏡

NavigatorSEM-100

聚束科技獨立研發并擁有自主知識産權的NavigatorSEM-100高通量(場發射)掃描電子顯微鏡,通過對成像技術、運動平台、電路控制及智能算法的系統化創新設計,實現了高通量成像,成像速度可達到傳統電鏡的數十倍以上。其全部采用直接電子探測器的技術方案,成功克服了傳統SEM技術在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性,颠覆性地将掃描電鏡從傳統意義上的納米“照相機”提升為納米“攝像機”。同時操作簡單,全自動一鍵換樣,7*24小時無人值守運行,全面提升科研效率。 我們将成熟的工業化高通量電鏡檢測技術應用在生命科學、材料研究、半導體工業、地質資源等領域。尤其在神經生物學3D重構、材料大面積表面分析、半導體反向工程、納米技術分析等應用領域有顯著優勢。

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