極速成像

通過創新的硬件和軟件設計，實現二次電子與背散射電子雙通道同步成像：視頻級高分辨成像2×100M像素/秒，6秒鐘即可拍攝一張6億像素高清圖像（區域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相較傳統意義掃描電鏡，其掃描速度高出一個數量級以上。

高清視頻級攝像幀率（2×200幀/秒@512×512，或2×60幀/秒@1024×1024），使其具有實時觀測樣品動态變化的能力。

高質量成像

SORRIL^TM複合式電磁物鏡系統，有效地減小低落點能量下物鏡的像差，達到極高分辨能力（1.5nm @ 1 kV， 1.0nm @ 5 kV）。

與物鏡系統複合的靜電式掃描偏轉系統，相比于傳統電鏡的磁偏轉系統，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的圖像。

In-Lens SE與BSE半導體直接電子探測器，雙通道同時高速成像，兼具高靈敏度和高信号電子收集效率，即使在nA級别的大束流條件仍可獲得高質量的圖像襯度和信噪比。

配備主動補償系統（激光幹涉振動補償、電磁幹擾主動補償），消除環境因素幹擾，保證成像高分辨力高質量。

跨尺度大規模成像

高速掃描成像能力，結合全自動聚焦跟蹤系統和A.I.圖像處理算法，實現對超大區域（150mm*150mm）樣品進行高分辨率全自動不間斷矩陣式掃描，并自動拼接獲得大尺寸納米級分辨率的全景地圖式成像，使之具備了跨尺度信息融合能力，可實現從納米級到毫米級的跨尺度材料表征。

智能分析

大數據智能分析 ，海量SEM圖像快速生成數據分析報告；

智能圖像處理，定制化圖像測量、統計、分析。

操作簡單

全自動樣品載入與導航，一鍵換樣。大視場光學成像導航與SEM成像無縫銜接，對指定區域快速準确實現定位和觀測。

7*24小時全自動化無人值守運行能力。